Объявление о защите диссертации
Соискатель: СОЛОВЬЕВ Андрей Александрович
Тема диссертации: УСТРОЙСТВА СО СКРЕЩЕННЫМИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ И МАГНИТНЫМ ПОЛЯМИ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКИ БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ
Шифр совета:
Д 003.031.01
Вид диссертации: кандидатская
Специальность: 05.27.02 – вакуумная и плазменная электроника
Работа выполнена: в Федеральном государственном бюджетном учреждении науки Институте сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук.
Дата защиты: 10 апреля 2007 г.
Место защиты: г. Томск, пр. Академический, 2/3.
Сведения о диссертации
| Соискатель | СОЛОВЬЕВ Андрей Александрович |
| Тип диссертации | кандидатская |
| Отрасль науки | технические науки |
| Тема диссертации | УСТРОЙСТВА СО СКРЕЩЕННЫМИ ЭЛЕКТРИЧЕСКИМ И МАГНИТНЫМ ПОЛЯМИ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКИ БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ |
| Шифр научной специальности: | 05.27.02 – вакуумная и плазменная электроника |
| Дата размещения объявления | 06.03.2007 |
| Дата защиты | 10.04.2007 |
| Автореферат | (06.03.2007) |
| Место проведения защиты | Институт сильноточной электроники СО РАН
634055, г. Томск-55, пр. Академический, 2/3. ИСЭ СО РАН |
| Телефон | (382-2) 492-586 |
| pegel@lfe.hcei.tsc.ru |
